时间:2027-01-02
城市:长沙
会议检索:EI; Scopus; IEEE Xplore
研究领域:材料科学; 机械工程; 安全科学
会议形式:在线会议
2027年半导体材料、先进工艺与集成电路制造国际会议(SMAPICM 2027)旨在汇聚全球半导体材料、工艺与集成电路制造领域的专家学者,聚焦新型半导体材料、先进制程工艺及芯片制造技术等前沿议题。会议将探讨宽禁带半导体、极紫外光刻、原子层沉积、先进封装及良率控制,推动材料创新与制造工艺深度融合,共筑高性能、低功耗、高可靠的集成电路制造新体系。
会议官网:www.confs-online.com/smapicm
大会时间:2027-01-02
大会地点:长沙
截稿日期:2026-12-13
接受/拒稿通知:约投稿后1-2周
会议收录类型:EI; Scopus; IEEE Xplore
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新型半导体材料(宽禁带、二维材料、钙钛矿)
半导体外延生长与薄膜沉积技术
极紫外(EUV)光刻与先进图形化工艺
原子层沉积(ALD)与原子层刻蚀(ALE)
先进制程节点(3nm及以下)工艺集成
三维集成与先进封装技术
新型存储材料与器件制造
功率半导体材料与器件工艺
化合物半导体(GaN、SiC)制造技术
半导体制造中的缺陷控制与良率提升
芯片制造过程在线监测与量测
集成电路设计-工艺协同优化(DTCO)
半导体器件可靠性与失效分析
先进互连材料与低介电常数介质
晶圆级封装与芯粒(Chiplet)集成
半导体制造设备关键零部件技术
洁净室技术与污染控制
半导体材料计算与工艺仿真
新型光刻胶与辅助材料
集成电路制造中的AI与大数据应用
半导体工艺标准化与国产化路径
柔性电子与异质集成制造
量子器件与低温电子制造工艺
半导体制造中的绿色工艺与可持续发展
集成电路制造人才培养与产学研合作
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